Un fabricante nacional de componentes de precisión logra un avance significativo y suministra piezas de acero inoxidable SUS304 con tolerancias ultraajustadas a ASML.

La experiencia de 26 años de Shenzhen KGL Electromechanical permite ofrecer componentes de acero inoxidable con una precisión de 0,01 mm para equipos de litografía EUV.

Por un corresponsal del sector

SHENZHEN – El panorama mundial de equipos para semiconductores está presenciando un nuevo hito en la fabricación nacional de alta precisión, ya que Shenzhen KGL Electromechanical Co., Ltd. se ha asegurado una posición en la cadena de suministro global de élite de ASML, produciendo piezas estructurales de acero inoxidable SUS304 de ultraprecisión con una estricta tolerancia de 0,01 milímetros para el hardware avanzado de producción de semiconductores de la empresa.

Los datos de mercado subrayan el valor crucial de los proveedores de componentes de precisión. En 2025, el mercado mundial de equipos para semiconductores alcanzó los 133.000 millones de dólares, con ASML registrando por sí sola unos ingresos anuales de 37.200 millones de dólares. Cada máquina de litografía ultravioleta extrema (EUV) depende de una compleja red de piezas mecanizadas de precisión especializadas, un sector tradicionalmente dominado por fabricantes internacionales veteranos. Ahora, Shenzhen KGL, con 26 años de experiencia en mecanizado de precisión, se ha consolidado como un proveedor nacional cualificado, capaz de cumplir con los estándares técnicos más exigentes del gigante de la litografía.

Las especificaciones de mecanizado sin precedentes plantean serios obstáculos técnicos.

El componente personalizado encargado por ASML representa una de las pruebas de fabricación más rigurosas en ingeniería de precisión, con las especificaciones de diseño completas detalladas en la tabla a continuación:

Los equipos de fabricación se enfrentan a tres inconvenientes inherentes del acero inoxidable austenítico SUS304 que complican el procesamiento de placas delgadas de alta precisión. En primer lugar, el material es propenso a un endurecimiento por deformación severo durante las operaciones de corte, lo que acelera el desgaste de la herramienta. Una investigación publicada en China Mechanical Engineering en 2024 por el equipo de investigación del profesor Zhan Lihua en la Universidad Central del Sur confirmó la evidente propiedad de endurecimiento por velocidad de deformación de la aleación: su límite elástico aumenta de 280 MPa a una velocidad de deformación de 0,00067 s⁻¹ a 370 MPa a 1,0 s⁻¹.

En segundo lugar, el acero inoxidable SUS304 presenta una conductividad térmica de tan solo 15 W/(m·K), aproximadamente un tercio de la del acero al carbono. El calor de corte se acumula intensamente en las superficies mecanizadas, lo que provoca una deformación térmica de entre 0,02 mm y 0,05 mm en las paredes ultrafinas de 0,3 mm. En tercer lugar, el modelo cinético de Olson-Cohen explica que una deformación real superior a 0,27 desencadena una transformación martensítica inducida por deformación, lo que produce un endurecimiento secundario y dificulta aún más la maquinabilidad.

Un proceso personalizado de cinco etapas resuelve los principales cuellos de botella en la producción.

Para superar estos desafíos materiales y estructurales, el equipo de I+D de KGL implementó un flujo de trabajo de fabricación propio de cinco etapas: mecanizado en bruto → envejecimiento natural de 24 horas a una temperatura constante de 20 ± 0,5 ℃ → semiacabado → alivio de tensiones por ciclos térmicos (-40 ℃ a +80 ℃) → acabado de precisión.

Los ingenieros también calibraron los parámetros de corte específicos para cada fase de producción, junto con las soluciones de refrigeración correspondientes, tal como se detalla en la tabla:

Otra innovación clave reside en un dispositivo de sujeción compuesto que integra adsorción por vacío de 40–60 kPa y soportes auxiliares. Tras 12 rondas de optimización iterativa, la deformación por sujeción se redujo drásticamente de 0,015 mm a menos de 0,003 mm. Para los microagujeros ultrafinos de Φ0,1 mm, los técnicos adoptaron un procedimiento de perforación en tres pasos que consistía en perforación central, expansión del agujero y escariado, combinado con ciclos de perforación intermitente y refrigeración a alta presión (superior a 70 bar) para evacuar completamente las virutas metálicas.

La producción en masa ofrece métricas de calidad estables y superiores.

Las rigurosas pruebas por lotes verifican que todas las piezas terminadas superan los requisitos técnicos oficiales de ASML, y la estabilidad de la producción se refleja en la tabla de inspección de calidad:

Todos los indicadores geométricos clave superan el umbral de tolerancia de 0,01 mm, y todos los valores de capacidad de proceso CPK superan 1,47, un referente para la fabricación en masa fiable. La empresa mantiene un rendimiento del 99,8 % del producto terminado en lotes de producción continuos.

El aumento de la demanda nacional de mecanizado de precisión impulsa el progreso de la localización.

El mercado chino de mecanizado de precisión alcanzó los 487.200 millones de RMB en 2025, lo que representa un crecimiento interanual del 7,3%. Dentro de este sector, los fabricantes de equipos para semiconductores invirtieron 38.700 millones de RMB solo en la adquisición de componentes de precisión. Las estadísticas del sector muestran que la tasa de localización nacional de los equipos clave para la fabricación de semiconductores aumentó del 35% al ​​42% el año pasado, impulsando una sólida demanda de empresas locales con capacidad para el procesamiento de precisión.

Hu Qiaosheng, director general de Shenzhen KGL Electromechanical, lidera el equipo de innovación técnica de la empresa. Licenciado en Ingeniería Mecánica y doctorado por la NLBA Business School de los Países Bajos, Hu cuenta con 26 años de experiencia práctica en mecanizado de precisión. Bajo su dirección, la empresa ofrece soluciones de fabricación de alta precisión a medida para clientes internacionales de los sectores de semiconductores, dispositivos médicos y aeroespacial.

Hu señaló que la entrada de KGL en la cadena de suministro de ASML representa un avance crucial para la capacidad de procesamiento de ultraprecisión de China. «Nuestro éxito demuestra que los fabricantes locales pueden cumplir con los estándares internacionales más exigentes para componentes centrales de semiconductores. En adelante, continuaremos mejorando nuestra tecnología de procesos para apoyar una mayor localización de la industria china de equipos para semiconductores», afirmó.